7月11日，重庆日报记者从两江新区获悉，可填补国内中高端MEMS（微机电* ）半导体传感器芯片空白的两江智能装备产业园，预计明年4月试生产，届时将助力我国MEMS传感器芯片研发与工艺达到世界先进水平。
该项目由中国四联仪器仪表集团有限公司（以下简称“中国四联”）投资，拟用地120亩，投产后预计年产能达5万个晶圆，年产值6亿元。
中国四联相关负责人介绍，该项目将主要开展半导体传感器芯片设计、制造工艺、专用装备制造等全技术链条研究，建设具有国际先进水平的高端半导体传感器芯片和智能仪器* 生产线、工业互联网设备健康管理大数据应用及服务平台。
此外，该项目还将实现紫外-可见-近红外系列微型光谱仪核心光学元器件、光学* 、专用采集卡、配套软件、* 一体化集成装调等核心部件的研发制造，并基于工业互联网和专家* ，利用机器学* 、大数据智能化、物联网等新技术，实现对设备全生命周期状态监测、故障诊断和健康管理。
该负责人表示，项目建成投产后，可使我国MEMS产品设计和制造工艺由碎片化走向连续化、* 化，为国内高精度测量技术的深入研究和大数据、智能化发展奠定坚实基础，进一步推动我国高端MEMS半导体传感器全产业链发展。
